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科研机构
沈阳自动化研究所 [4]
内容类型
学位论文 [2]
期刊论文 [2]
发表日期
2012 [4]
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专题:沈阳自动化研究所
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发表日期:2012
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基于直线的单目视觉位姿计算方法研究
学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
作者:
刘昶
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浏览/下载:66/0
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提交时间:2012/07/27
单目视觉
位姿定位
线特征
点特征
闭式解
CMP过程Run-to-Run预测控制方法研究
学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2012
王亮
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浏览/下载:216/0
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提交时间:2012/07/27
半导体制造
化学机械研磨
Run-to-Run控制
预测控制
过程控制
数控总线基于贝叶斯估计的同步抖动修正方法
期刊论文
系统仿真学报, 2012, 卷号: 24, 期号: 10, 页码: 2146-2151
作者:
胡静涛
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2012/12/28
贝叶斯估计
数控系统现场总线
同步
同步抖动
CMP过程多变量免疫预测R2R控制方法
期刊论文
仪器仪表学报, 2012, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 2586-2593
作者:
王亮
;
胡静涛
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浏览/下载:36/0
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提交时间:2012/12/28
化学机械研磨
R2R控制
最小二乘支持向量机
贝叶斯证据框架
克隆选择
预测控制
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