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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位    发表日期：2009     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法 期刊论文 微纳电子技术, 2009 刘鹏; 张大成; 李婷; 罗葵; 田大宇; 李静 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/11 三维刻蚀  反应离子刻蚀  湿法刻蚀  高深宽比  聚合物   基于SU8热压键合的TOG(玻璃上钛)工艺 其他 2009-01-01 张轶铭; 舒琼; 赵刚; 田尧; 李文; 陈兢 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2015/11/12 热压键合 MEMS器件 微机电系统 玻璃衬底