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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    发表日期：2018     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 CF_4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO_2多尺度研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者:  杨雪 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/02 原子层刻蚀  离子能量角度分布  刻蚀槽形貌演化  深宽比依赖效应   大型高精度衍射光栅刻划机分度系统重载工作台的宏定位实现方法研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  姚雪峰 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/09/23 光栅刻划机  机刻光栅  研磨加工  传动精度测量  宏微双重驱动   高强钢三明治板约束电弧塞焊工艺基础研究 学位论文 2018 作者:  李政濠 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/11/05 高强钢三明治板  焊剂片  电弧约束  工艺参数  T型接头   柱面螺旋槽气膜密封微间隙流场仿真分析研究 学位论文 2018 作者:  苗春昊 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/11/05 柱面螺旋槽气膜密封  三维数值模拟  操作参数  结构参数  螺旋槽槽型参数  试验研究