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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：武汉大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Avoiding blister defects in low-stress hydrogenated amorphous silicon films for MEMS sensors 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2018, 卷号: 276 作者:  Wang, Junli;  Wu, Lixiang;  Chen, Xi;  Zhuo, Wenjun;  Wang, Gaofeng 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/05 Blister defect  Stress control  Hydrogenated amorphous silicon thin film  MEMS  Annealing   A Micromachined Piezoresistive Pressure Sensor with a Shield Layer 期刊论文 SENSORS, 2016, 卷号: 16, 期号: 8 作者:  Cao, Gang;  Wang, Xiaoping;  Xu, Yong;  Liu, Sheng 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/05 silicon pressure sensor  shield layer  stability   New fluorescent pH sensor based on label-free silicon nanodots 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2014, 卷号: 203 作者:  Feng, Yanling;  Liu, Yufei;  Su, Chen;  Ji, Xinghu;  He, Zhike 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/05 Silicon nanodots (SiNDs)  Hydrothermal method  Label-free  pH sensora   The identification of color difference of polychromatic light by silicon color sensor with double PN junction 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2003, 卷号: 109, 期号: 1-2 作者:  Chen, BR;  Wang, S;  Du, K 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/05 color sensor with double PN junction  spectral distribution  color difference  polychromatic light   A HIGHLY-SENSITIVE SILICON MICROPHOTOSENSOR 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 1990, 卷号: 22, 期号: 1-3 作者:  HE, MC;  CHEN, BR;  HUANG, QJ 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/12/05 Highly-sensitive silicon microphotosensor 期刊论文 Sensors and Actuators, A: Physical, 1990, 卷号: 22, 期号: 1-3 作者:  He, Mincai;  Chen, Bingruo;  Huang, Qijun 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/12/05