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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：光电子学     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of co-implantation of nitrogen and fluorine on the fixed positive charge density of the buried oxide layer in SIMOX SOI materials 期刊论文 acta physica sinica, 2013, 卷号: 62, 期号: 11, 页码: 117303 Zhang Bai-Qiang, Zheng Zhong-Shan, Yu Fang, Ning Jin, Tang Hai-Ma, Yang Zhi-An 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2014/04/09