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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2008 [1]
1996 [1]
1995 [1]
1994 [1]
学科主题
Applied [4]
Coatings &... [2]
Materials ... [2]
Physics [2]
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学科主题:Applied
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Research on metastable electron traps in the modified SOI materials induced by Si ion implantation
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A, 2008, 卷号: 26, 期号: 2, 页码: L1-L4
Zhang, EX
;
Yu, ZS
;
Cao, YG
;
Yang, H
;
Zhang, ZX
;
Wang, X
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2011/11/04
SIMOX BURIED OXIDES
RAY PHOTOELECTRON-SPECTROSCOPY
RADIATION RESPONSE
OXYGEN
INSULATOR
Structural properties of carbon nitride films prepared by high dose nitrogen implantation into carbon thin films
期刊论文
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 1996, 卷号: 79, 期号: 5, 页码: 2364-2368
Xin,HP
;
Lin,CL
;
Xu,WP
;
Wang,LW
;
Zou,SC
;
Wu,XL
;
Shi,XH
;
Zhu,H
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/03/25
SILICON-NITRIDE
ION-BEAMS
SURFACES
N+
FORMATION OF COVALENT SOLID CNX COMPOUNDS BY HIGH-DOSE NITROGEN IMPLANTATION INTO CARBON THIN-FILMS
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 1995, 卷号: 66, 期号: 24, 页码: 3290-3291
XIN,HP
;
XU,WP
;
SHI,XH
;
ZHU,H
;
LIN,CL
;
Zou,SC
收藏
  |  
浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2012/03/25
STRUCTURAL-PROPERTIES
SILICON-NITRIDE
ION-BEAMS
SURFACES
N+
EXISTENCE OF STRUCTURAL INHOMOGENEITY IN ION-BEAM-MODIFIED POLYIMIDE FILMS
期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS, 1994, 卷号: 12, 期号: 6, 页码: 3200-3204
XU,XL
;
XU,D
;
XU,HL
;
WANG,R
;
Zou,SC
;
DU,GD
;
XIA,GQ
收藏
  |  
浏览/下载:54/0
  |  
提交时间:2012/03/25
RAMAN-SCATTERING
CARBON-FILMS
SPECTROSCOPY
POLYMERS
CONDUCTIVITY
IMPLANTATION
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