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氮生长掺杂和离子注入掺杂CVD金刚石薄膜的场电子发射 期刊论文
半导体学报/Pan Tao Ti Hsueh Pao/Chinese Journal of Semiconductors, 1999, 卷号: 20, 期号: 9, 页码: 780-785
作者:  邵乐喜;  谢二庆;  路永刚;  贺德衍;  陈光华
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