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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 内容类型：其他    发表日期：2004     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design, fabrication, testing and mechanical analysis of bulk-micromachined flowmeters 其他 2004-01-01 Wang, XB; Qian, J; Zhang, DC 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/10 micromachined flowmeters  bulk-micromachining  piezoresistivity  Wheatstone bridge  FLOW SENSORS  SILICON   Investigation of fabricating ultra deep and high aspect ratio electrical isolation trench without void 其他 2004-01-01 Zhu, Y; Fan, J; Wang, CW; Zhou, J; Liu, XS; Yan, GZ; Wang, YY 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 DRIE  high aspect ratio  isolation trench  MEMS  monolithic integration   Design and fabrication of a torsional Z-axis capacitive accelerometer with novel comb capacitor 其他 2004-01-01 Yang, ZC; Yan, GZ; Hao, YL; Wu, GY 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 accelerometer  comb capacitor  bulk micro-machined  SENSORS   Investigation of fabricating ultra deep and high aspect ratio electrical isolation trench without void 其他 2004-01-01 Zhu, Yong; Fan, Jie; Wang, Chengwei; Zhou, Jian; Liu, Xuesong; Yan, Guizhen; Wang, Yangyuan 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Chip level packaging for MEMS using silicon cap 其他 2004-01-01 Du, Xianfeng; Zhang, Dacheng; Lee, Ting 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 Chip level packaging for MEMS using silicon cap 其他 2004-01-01 Du, XF; Zhang, DC; Lee, T 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/13 TECHNOLOGY