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优化配置的多腔室MOCVD反应系统 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-02-05
纪攀峰; 马平; 王军喜; 胡强; 冉军学; 曾一平; 李晋闽
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用于MOCVD系统中控制外延片发光波长及均匀性的装置与方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2014-01-22
纪攀峰; 马平; 王军喜; 胡强; 冉军学; 曾一平; 李晋闽
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2014/11/05


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