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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Single wafer fabrication of a symmetric double-sided beam-mass structure using DRIE and wet etching by a novel vertical sidewall protection technique 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 11, 页码: 115009-115009 Zhou, XF; Che, LF; Xiong, B; Fan, KB; Wang, YL; Wang, ZK 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2011/12/17 ALKALINE-SOLUTIONS  SILICON  KOH  TMAH  SI(100)  SURFACE   Single wafer fabrication of a symmetric double-sided beam-mass structure using DRIE and wet etching by a novel vertical sidewall protection technique 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2010, 卷号: 20, 期号: 11 Article Number, 页码: 115009 Zhou, XF; Che, LF; Xiong, B; Fan, KB; Wang, YL; Wang, ZK 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2012/05/12