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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 On-chip integration of acceleration, pressure, and temperature composite sensor with a single-sided micromachining technique 期刊论文 Journal of Microelectromechanical Systems., 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 42-52 Wang, Quan; Li,XX; Li,T; Bao, Minhang; Zhou, Wei 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/08/23 On-chip integration of acceleration, pressure, and temperature composite sensor with a single-sided micromachining technique 期刊论文 Journal of Microelectromechanical Systems., 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 42-52 Wang, Quan; Li,XX; Li,T; Bao, Minhang; Zhou, Wei 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2012/08/23 A NOVEL MONOLITHICALLY INTEGRATED PRESSURE, ACCELEROMETER AND TEMPERATURE COMPOSITE SENSOR 会议论文 Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009 Quan Wang, Xinxin Li, Tie Li, Minhang Bao, Kun Zhang, Xiaohong Ge, Wei Zhou and Haifei Bao 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/05/04