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上海微系统与信息技... [49]
内容类型
期刊论文 [47]
会议论文 [2]
发表日期
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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On-chip integration of acceleration, pressure, and temperature composite sensor with a single-sided micromachining technique
期刊论文
Journal of Microelectromechanical Systems., 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 42-52
Wang, Quan
;
Li,XX
;
Li,T
;
Bao, Minhang
;
Zhou, Wei
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提交时间:2012/08/23
On-chip integration of acceleration, pressure, and temperature composite sensor with a single-sided micromachining technique
期刊论文
Journal of Microelectromechanical Systems., 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 42-52
Wang, Quan
;
Li,XX
;
Li,T
;
Bao, Minhang
;
Zhou, Wei
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/08/23
On-Chip Integration of Acceleration, Pressure, and Temperature Composite Sensor With a Single-Sided Micromachining Technique
期刊论文
JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 42-52
Wang,QA
;
Li,XX
;
Li,T
;
Bao,MH
;
Zhou,W
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提交时间:2012/04/12
IEEE-INST ELECTRICAL ELECTRONICS ENGINEERS INC
On-Chip Integration of Acceleration, Pressure, and Temperature Composite Sensor With a Single-Sided Micromachining Technique
期刊论文
IEEE JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2011, 卷号: 20, 期号: 1 Pages, 页码: 42-52
Wang, QA ,
;
Li, XX
;
Li, T
;
Bao, MH
;
Zhou, W ,
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提交时间:2012/05/12
Fast pore etching on high resistivity n-type silicon via photoelectrochemistry
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2009, 卷号: 18, 期号: 2, 页码: 664-670
Bao, XQ
;
Ge, DH
;
Zhang, S
;
Li, JP
;
Zhou, P
;
Jiao, JW
;
Wang, YL
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2011/12/17
P-TYPE SILICON
MACROPORE FORMATION
POROUS SILICON
FORMATION MECHANISMS
ARRAY FORMATION
MORPHOLOGY
PHYSICS
DENSITY
LIMITS
SI
Fast pore etching on high resistivity n-type silicon via photoelectrochemistry
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2009, 卷号: 18, 期号: 2, 页码: 664-670
Bao, XQ
;
Ge, DH
;
Zhang, S
;
Li, JP
;
Zhou, P
;
Jiao, JW
;
Wang, YL
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2011/12/17
P-TYPE SILICON
MACROPORE FORMATION
POROUS SILICON
FORMATION MECHANISMS
ARRAY FORMATION
MORPHOLOGY
PHYSICS
DENSITY
LIMITS
SI
On the origin of dissimilar pore evolution on patterned and unpatterned (100) n-type silicon
期刊论文
CHINESE SCIENCE BULLETIN, 2009, 卷号: 54, 期号: 7, 页码: 1143-1151
Bao, XQ
;
Ge, DH
;
Zhang, S
;
Zhao, L
;
Jiao, JW
;
Wang, YL
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提交时间:2011/12/17
P-TYPE SILICON
POROUS SILICON
MACROPORE FORMATION
FORMATION MECHANISMS
ANODIC-DISSOLUTION
STABILITY ANALYSIS
MORPHOLOGY
PHYSICS
SI
DENSITY
Effects of the intrinsic layer width on the band-to-band tunneling current in p-i-n GaN-based avalanche photodiodes
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2009, 卷号: 24, 期号: 9 Article Number, 页码: 095006
Wang, L
;
Bao, XC
;
Zhang, WJ
;
Li, C
;
Yuan, YG
;
Xu, JT
;
Zhang, Y
;
Li, XY
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提交时间:2012/05/12
Fast pore etching on high resistivity n-type silicon via photoelectrochemistry
期刊论文
CHINESE PHYSICS B, 2009, 卷号: 18, 期号: 3 Pages, 页码: 664-670
Bao, XQ
;
Ge, DH
;
Zhang, S
;
Li, JP
;
Zhou, P
;
Jiao, JW
;
Wang, YL
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提交时间:2012/05/12
A NOVEL MONOLITHICALLY INTEGRATED PRESSURE, ACCELEROMETER AND TEMPERATURE COMPOSITE SENSOR
会议论文
Transducers’09:The 15th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 2009
Quan Wang, Xinxin Li, Tie Li, Minhang Bao, Kun Zhang, Xiaohong Ge, Wei Zhou and Haifei Bao
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提交时间:2012/05/04
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