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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of Rapid Thermal Annealing on Ge-Si Interdiffusion inEpitaxial Multilayer Ge0.3Si0.7/Si Superlattices with Various GeSiThicknesses 期刊论文 ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2018 作者:  Zhang ZH(张兆浩);  Zhang QZ(张青竹);  Hailing Tu;  Gu SH(顾世海);  Wang GL(王桂磊) 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2019/05/20 Influence of the hard masks profiles on formation of nanometer Si scalloped fins arrays 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2018 作者:  Tongda Ma;  Zhang QZ(张青竹);  Hailing Tu;  Yin HX(殷华湘);  Feng Wei 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/05/20