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科研机构
微电子研究所 [3]
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专利 [2]
成果 [1]
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2018 [1]
2017 [1]
2008 [1]
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专题:微电子研究所
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微纳电子器件及集成研究群体
成果
2018
主要完成人:
谢常青
;
许晓欣
;
商立伟
;
龙世兵
;
刘明
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2019/05/24
电子束光刻对准标记在芯片上的布局
专利
专利号: CN201410103327.1, 申请日期: 2017-02-01, 公开日期: 2015-09-23
作者:
牛洁斌
;
刘明
;
陈宝钦
;
谢常青
;
龙世兵
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2018/04/27
一种消除反应离子刻蚀自偏压的方法及系统
专利
专利号: CN101399184, 申请日期: 2008-09-26, 公开日期: 2009-04-01, 2010-11-26
作者:
王建海
;
黄清华
;
刘训春
;
王佳
;
周宗义
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/11/26
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