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金属研究所 [2]
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会议论文 [2]
发表日期
2002 [1]
2001 [1]
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磁控溅射纳米PtSi薄膜表面和界面特征
会议论文
第二届全国纳米技术与应用学术会议, 宁波, 2002-11-28
殷景华
;
蔡伟
;
王明光
;
郑玉峰
;
李美成
;
王培林
;
赵连城
收藏
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提交时间:2013/08/21
表面形貌
界面结构
磁控溅射方法
硅化铂
纳米薄膜
磁控溅射PtSi/p-Si异质薄膜界面结构
会议论文
第四届中国功能材料及其应用学术会议, 厦门, 2001-10-01
殷景华
;
蔡伟
;
王明光
;
李美成
;
赵连城
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提交时间:2013/08/21
PtSi
薄膜
界面结构
磁控溅射
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