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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 双频容性耦合等离子体研究进展 会议论文 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20 作者:  姜巍;  毕振华;  李志成;  常大磊;  杨烁 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/24 容性耦合  离子能量  鞘层  电子温度  电子密度  甚高频  下电极  原子密度  放电间隙  应腔   使用双探针诊断短间隙双频容性耦合放电等离子体 会议论文 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20 作者:  杨烁;  陆文琪;  李志诚;  姜巍;  常大磊 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 容性耦合  放电等离子体  等离子体探针  朗缪尔探针  谐波成分  双探针  探针装置  电子温度  工艺参数  物理过程