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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机投影物镜的像差原位检测新技术 期刊论文 光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 679, 684 张冬青; 王向朝; 施伟杰; 王帆 收藏  |  浏览/下载：1439/131  |  提交时间：2009/09/18 信息光学  像差  投影物镜  光刻机  原位检测