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集成光波导马赫-泽德干涉型传感芯片的制作方法 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2012-09-09, 2012-09-09, 2012-09-09
姜婷; 吴远大; 王玥; 安俊明; 李建光; 王红杰; 胡雄伟
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