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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：中国石油大学（北京）    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Heteroepitaxial growth of TiN thin films on Si substrates for MEMS applications 期刊论文 JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS, 2016, 卷号: 658, 页码: 862-866 作者:  Xiang, Wenfeng;  Zhao, Chongyang;  Liu, Kun;  Zhang, Guling;  Zhao, Kun 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/01/03 Epitaxial TiN film  Thickness dependence  Microstructure  Strain and stress  Optical and electrical properties