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等离子体增强化学气相沉积法制备含氢类金刚石膜的紫外Raman光谱和X射线光电子能谱研究 期刊论文
2013, 卷号: 0, 页码: 441-447
作者:  杨发展;  沈丽如;  王世庆;  唐德礼;  金凡亚
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