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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：华南理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 SiGe HBT device in mixed dry wet etching (EI收录) 会议论文 Proceedings of 1st IEEE International Conference on Nano Micro Engineered and Molecular Systems, 1st IEEE-NEMS, Zhuhai, China, January 18, 2006 - January 21, 2006 作者:  Liu, Daoguang[1,2];  Xu, Jun[1];  Xu, Shiliu[2];  Hao, Yue[3];  Qian, Peixin[1] 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/04/18 Alignment  Alkali metals  Chemical properties  Curing  Cutoff frequency  Drying  Etching  Germanium  Heterojunction bipolar transistors  Molecules  NEMS  Optical design  Plasma etching  Potassium  Potassium hydroxide  Semiconducting germanium compounds  Semiconducting silicon compounds  Silicon  Silicon alloys  Sulfur  Sulfur hexafluoride  Wet etching