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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS电容式微加速度传感器Q值测试与力反馈接口电路研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009 张灵霖 收藏  |  浏览/下载：110/0  |  提交时间：2012/03/06 电容式加速度传感器  阶跃响应测试  等效刚度  闭环力反馈  带宽