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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：深圳先进技术研究院    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Deep Wet Etching in Hydrofluoric Acid, Nitric Acid, and Acetic Acid of Cavities in a Silicon Wafer 期刊论文 JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2013 作者:  Zhou Yifan;  Chen Sihai;  Samson Edmond;  Alain Bosseboeuf 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2015/08/28