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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究 期刊论文 2012 郑志霞; 冯勇建 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2016/05/17 机械灵敏度  悬空薄膜  浓硼扩散  自停止腐蚀  mechanical sensitivity  free-handing diaphragm  deep boron diffusion  self-stopped etching   Low-loss plasmonic hybrid optical ridge waveguide on silicon-on-insulator substrate 期刊论文 2011 Zuo, X. L.; Sun, Z. J.; 孙志军 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2013/12/12 PROPAGATION  CONFINEMENT  SCALE  MODES  LIGHT  GAP   A novel bulk micromachined tunneling gyroscope 其他 2011-01-01 Wang, Lingy; Su, Yuanzhe; Lei, Y; Li, Wenwang; Liu, Yifan; Sun, Daohen; 王凌云; 刘益芳; 孙道恒 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/07/22 Atmospheric pressure  Electron tunneling  Glass  Glass bonding  Modal analysis  Natural frequencies  Reactive ion etching  Semiconducting silicon compounds  Silicon wafers  Wafer bonding   Design and simulation of a differential and decoupled micromachined gyroscope 期刊论文 http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/KEM.483.674, 2011 Liu, Yang; Wang, Lingyun; Lei, Tingping; Du, Jiang; Jiang, Yiwen; Sun, Daoheng; Wang, XH; 孙道恒 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2013/12/12 INSULATING SUBSTRATE  MEMS GYROSCOPE   Symmetric redox supercapacitor based on micro-fabrication with three-dimensional polypyrrole electrodes 期刊论文 http://dx.doi.org/10.1016/j.jpowsour.2010.05.012, 2010 Sun, Wei; Zheng, Ruilin; Chen, Xuyuan; 陈旭远 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/07/22 CAPACITANCE PROPERTIES  DOUBLE-LAYER  COMPOSITE  MEMS   基于绝缘体上硅晶片的微机电系统红外光源 期刊论文 2010 钱昆; 李方强; 程美英; 伞海生; 陈旭远 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/05/17 光学制造  红外光源  微机电系统  绝缘体上硅  调制  光谱  optical fabrication  infrared emitter  micro-electro-mechanical system(MEMS)  silicon-on-insulator(SOI)  modulation  spectrum   Colloidal lithography-based fabrication of suspended nanoporous silicon nitride membranes 期刊论文 2009 Zhang, Xuan; Zhu, Zaiwen; Sun, Chunfeng; Zhu, Feng; Luo, Zhongzi; Yan, Jiawei; 颜佳伟; Mao, Bingwei; 毛秉伟 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2011/04/26 Nanopores  Silicon nitride suspended membranes  Colloidal lithography  Biosensor   新型微机械隧道陀螺仪的设计和工艺制备 期刊论文 2009 李文望; 孙道恒; 王凌云 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2016/05/17 隧道效应  陀螺  DDSOG  隧道传感器  tunneling effect  gyroscope  DDSOG  tunneling sensor   A MEMS-based infrared emitter array for combat identification 其他 2008-01-01 San, Haisheng; Chen, Xuyuan; Xu, Peng; Li, Fangqiang; Cheng, Meiying; 伞海生; 陈旭远 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/07/22 SILICON