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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study on dielectric charging in low-stress silicon nitride with the MIS structure for reliable MEMS applications 期刊论文 http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/21/12/125019, 2011 San, Haisheng; Deng, Zhiqiang; Yu, Yuxi; Li, Gang; Chen, Xuyuan; 余煜玺 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2013/12/12 RF-MEMS  CAPACITIVE SWITCHES  RELIABILITY  STATES  MODEL