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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Mathematical models - Method of moments - Polishing - Power spectral density     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Method to calculate the error correction ability of tool influence function in certain polishing conditions 期刊论文 Optical Engineering, 2014, 卷号: 53, 期号: 7, 页码: 075106 作者:  Wang, Jia;  Fan, Bin;  Wan, Yongjian;  Shi, Chunyan;  Zhuo, Bin 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/22