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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：metallurgy & metallurgical engineering     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The Characterization of Sputtered Zr-Ge-N Thin Films as Diffusion Barriers Between Copper and Silicon 期刊论文 rare metal materials and engineering, 2012, 卷号: 41, 期号: s1, 页码: 120-123 作者:  Yang, J. J.;  Liu, B.;  Liao, X. D.;  Jiao, G. H.;  Xu, K. W. 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/09/07 Zr-Ge-N films  diffusion barrier  micro-structural  thermal stability