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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 学科主题：Physics, Multidisciplinary     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Electromigration in Al interconnects and the challenges in ultra-deep submicron technology 期刊论文 ACTA PHYSICA SINICA, 2006, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 5424-5434 Zhang, WJ(张文杰）; Yi, WB（易万兵）; Wu, J（吴瑾） 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/03/24 THIN-FILMS  TRANSPORT MECHANISMS  DUAL-DAMASCENE  ALUMINUM FILMS  TEXTURE  GROWTH  GRAIN  TI  RELIABILITY  UNDERLAYER   Microstructural and electrical properties of ZrO2 thin films prepared on silicon on insulator with thin top silicon 期刊论文 CHINESE PHYSICS LETTERS, 2003, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 273-276 Zhang, NL; Song, ZT; Shen, QW; Lin, CL 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/03/24 FIELD-EFFECT-TRANSISTORS  K GATE DIELECTRICS  THERMAL-STABILITY  RELIABILITY  SI