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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：Applied    内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Influence of pH and abrasive concentration on polishing rate of amorphous Ge2Sb2Te5 film in chemical mechanical polishing 期刊论文 JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 11020 Zhang,ZF; Liu,WL; Song,ZT 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/04/10 A V S AMER INST PHYSICS   Effect of hydrogen peroxide concentration on surface micro- roughness of silicon wafer after final polishing 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 6, 页码: 1010-1015 Wang,HB; Song,ZT; Liu,WL; Kong,H 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/04/10 ELSEVIER SCIENCE BV   Effect of mechanical process parameters on friction behavior and material removal during sapphire chemical mechanical polishing 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 3020-3023 Zhang,ZF; Yan,WX; Zhang,L; Liu,WL; Song,ZT 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/10 ELSEVIER SCIENCE BV