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半导体研究所 [3]
内容类型
专利 [1]
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2008 [1]
学科主题
微电子学 [3]
半导体器件 [1]
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学科主题:微电子学
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AFM扫描探针的研究
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2016
何欢
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提交时间:2016/06/03
扫描探针显微镜
AFM探针
MEMS
微悬臂梁
硅针尖
Fabrication of Silicon Crystal-Facet-Dependent Nanostructures by Electron-Beam Lithography
期刊论文
半导体学报, 2008, 卷号: 29, 期号: 6, 页码: 1057-1061
作者:
Zhang Yang
;
Yang Xiang
;
Han Weihua
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2010/11/23
集成超声换能器的AFM探针阵列
专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-22
何欢
;
张金英
;
杨晋玲
;
杨富华
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/09/22
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