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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Optimization of inductively coupled plasma etching for low nanometer scale air-hole arrays in two-dimensional GaAs-based photonic crystals 期刊论文 journal of semiconductors, 2010, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 012003-1-012003-5 作者:  Ye Xiaoling;  Xu Bo;  Jin Peng;  Peng Yinsheng;  Ye Xiaoling 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2011/08/16 Photoluminescence from C+ ion-implanted and electrochemical etched Si layers 期刊论文 applied surface science, 2006, 卷号: 252, 期号: 24, 页码: 8424-8427 Shi LW (Shi Liwei); Wang Q (Wang Qiang); Li YG (Li Yuguo); Xue CS (Xue Chengshan); Zhuang HZ (Zhuang Huizhao) 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2010/04/11 ion implantation  annealing  chemical etching  photoluminescence  POROUS SILICON  LUMINESCENCE   EXCIMER-LASER DOPING OF SPIN-ON DOPANT IN SILICON 期刊论文 applied surface science, 1993, 卷号: 64, 期号: 3, 页码: 259-263 WONG YW; YANG XQ; CHAN PW; TONG KY 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2010/11/15 REACTIVE ATMOSPHERE  BORON  IRRADIATION  SEMICONDUCTORS  JUNCTIONS