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科研机构
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1996 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
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A transmission electron microscopy study of microstructural defects in proton implanted silicon
期刊论文
journal of applied physics, 1996, 卷号: 80, 期号: 8, 页码: 4767-4769
Gao M
;
Duan XF
;
Li JM
;
Wang FL
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提交时间:2010/11/17
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