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水平冷壁CVD生长4H-SiC同质外延膜 期刊论文
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 936-940
高欣; 孙国胜; 李晋闽; 赵万顺; 王雷; 张永兴; 曾一平
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