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科研机构
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [1]
学科主题
半导体器件 [1]
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Research on nitrogen implantation energy dependence of the properties of SIMON materials
期刊论文
nuclear instruments & methods in physics research section b-beam interactions with materials and atoms, 2006, 卷号: 242, 期号: 1-2, 页码: 585-587
Zhang EX
;
Sun JY
;
Chen J
;
Chen M
;
Zhang ZX
;
Li N
;
Zhang GQ
;
Wang X
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提交时间:2010/04/11
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