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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：光学薄膜     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电子束蒸发镀膜速率控制 期刊论文 中国激光, 2008, 卷号: 35, 期号: 10, 页码: 1591, 1594 王善成; 方明; 易葵; 邵淑英; 范正修 收藏  |  浏览/下载：877/189  |  提交时间：2009/09/22 薄膜  薄膜工艺  速率控制  比列积分微分控制  Basic principles  Closed-loop controls  Control parameters  Evaporation characteristics  Film process  Improved processes  Proportion integral differential  Rate control  Rate controls