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科研机构
上海光学精密机械研究... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2007 [1]
2005 [1]
学科主题
光学薄膜 [2]
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学科主题:光学薄膜
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Mo/Si软X射线多层膜的界面粗糙度研究
期刊论文
强激光与粒子束, 2007, 卷号: 19, 期号: 5, 页码: 763, 766
秦俊岭
;
邵建达
;
易葵
;
周洪军
;
霍同林
;
范正修
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浏览/下载:820/182
  |  
提交时间:2009/09/22
Mo/Si多层膜
Atomic force microscopy
软X射线
Magnetron sputtering
界面粗糙度
Surface roughness
反射率
X ray diffraction
德鲁德分布非均匀膜的光学特性模拟分析
期刊论文
光子学报, 2005, 卷号: 34, 期号: 12, 页码: 1862, 1867
沈自才
;
王英剑
;
范正修
;
邵建达
收藏
  |  
浏览/下载:624/117
  |  
提交时间:2009/09/22
光学薄膜
Optical films
非均匀性
Inhomogeneity
滤光片
Filter
优化
Optimization
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