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原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究 期刊论文
中国激光, 2002, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 40
作者:  霍芸生;  蔡惟泉;  曾庆林;  鄢和明;  王育竹
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