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科研机构
兰州大学 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
1994 [4]
学科主题
549.3 Nonf... [1]
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发表日期:1994
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直流等离子体CVD法合成的金刚石膜的断裂强度研究
期刊论文
物理学报, 1994, 期号: 9, 页码: 5
作者:
廖克俊
;
王万录
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提交时间:2015/04/27
金刚石膜:7792
断裂强度:5098
直流等离子体CVD:3093
衬底温度:1051
甲烷浓度:957
金刚石膜片:886
金刚石薄膜:592
等离子体激光:466
不锈钢:436
晶体粒度:392
Cdln↓2O↓4和Cd↓2SnO↓4薄膜X-光电子能谱研究
期刊论文
太阳能学报, 1994, 期号: 3, 页码: 5
作者:
王万录
;
廖克俊
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/04/27
CdIn_2O_4薄膜
Cd_2SnO_4薄膜
X-光电子能谱
热灯丝辅助射频等离子体CVD法生长立方氮化硼膜的研究
期刊论文
微细加工技术/Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology, 1994, 期号: 2, 页码: 47-50
作者:
廖克俊
;
王万录
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提交时间:2015/04/27
射频等离子体CVD
立方氮化硼薄膜
Cubic boron nitride film
红外吸收
Plasma chemical vapor deposition
热丝辅助等离子体化学气相法生长c-BN薄膜
期刊论文
硅酸盐学报, 1994, 期号: 2, 页码: 6
作者:
姬荣斌
;
王万录
;
廖克俊
;
张斌
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提交时间:2015/04/27
立方氮化硼薄膜
射频等离子体
化学气相沉积法
生长条件
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