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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2009     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Surface roughening and microstructure of tantalum nitride films sputtered at different N2/Ar flow ratios 会议论文 作者:  Yang, J.J.;  Liu, B.;  Wang, Y.;  Xu, K.W. 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/12/18 Film structure  Gradual transition  Polycrystalline structure  Reactive magnetron sputtering  Si(111) substrate  Surface-roughening  Tantalum nitrides  Tantalum-nitride film