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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 发表日期：2008     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A novel x-axis tuning fork gyroscope with "8 vertical springs-proofmass" structure on (111) silicon 期刊论文 Microsystem technologies-micro-and nanosystems-information storage and processing systems, 2008, 卷号: 14, 期号: 7, 页码: 1009-1013 作者:  Duan, Fei;  Jiao, Jiwei;  Wang, Yucai;  Zhang, Ying;  Mi, Binwei 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2019/05/10 Micro thermal shear stress sensor based on vacuum anodic bonding and bulk-micromachining 外文期刊 2008 作者:  Yi, L;  Ou, Y;  Shi, SL;  Ma, J;  Chen, DP 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/11/26 A surface plasmon resonance (SPR) sensor chip integrating prism array based on polymer microfabrication 其他 2008-01-01 Geng, Zhao-xin; Ji, Xu; Lou, Xia; Li, Qing; Wang, Wei; Li, Zhi-hong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 BIOSENSORS   A surface plasmon resonance (SPR) sensor chip integrating prism array based on polymer microfabrication 其他 2008-01-01 Geng, Zhao-Xin; Ji, Xu; Lou, Xia; Li, Qing; Wang, Wei; Li, Zhi-Hong 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 Micro thermal shear stress sensor based on vacuum anodic bonding and bulk-micromachining 期刊论文 Chinese Physics B, 2008, 卷号: 17, 期号: 6, 页码: 2130-2136 作者:  Yi L(易亮);  Ou Y(欧毅);  Shi SL(石莎莉);  Ma J(马瑾);  Chen DP(陈大鹏) 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/26 thermal micro shear stress sensor  vacuum anodic bonding  bulk-micromachined