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3B1束线上LIGA掩模的设计研究 期刊论文
微纳电子技术, 2003, 期号: Z1, 页码: 147-150
作者:  黄军容;  彭良强;  伊福廷;  蒋毅坚;  张菊芳
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2015/12/25
LIGA  掩模  X射线  
亚稳态氖原子光刻的实验研究 期刊论文
中国激光, 2003, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 22
作者:  霍芸生;  蔡惟泉;  曾庆林;  鄢和明;  王育竹
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2016/11/30
超分辨结构多层薄膜的磁及磁光特性研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2003
作者:  张约品
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2016/11/28


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