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绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1254833, 申请日期: 2000-01-01, 公开日期: 2000-05-31
张轩雄; 陆德仁; 王文襄; 扬根庆
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