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科研机构
北京大学 [1]
国家空间科学中心 [1]
工程热物理研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
1999 [3]
学科主题
空间技术 [1]
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发表日期:1999
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Recent Advances in Microfabricated Skin Friction ; Pressure Sensors
会议论文
ISABE, 1999
W. Pulliam
;
J. Schetz
;
S. Meller
;
K. Murphy
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2013/09/04
球载双球式电场仪及其应用
期刊论文
地球物理学报, 1999, 卷号: 42, 期号: 6, 页码: 772-777
罗福山
;
胡圣波
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2014/05/04
雷暴
大气电场
球载电场仪
双球式电场仪
A new process for releasing micromechanical structures in surface micromachining with polysilicon support and LPCVD Si3N4 embedded mask
期刊论文
sensors and actuators a physical, 1999
Xiao, ZX
;
Hao, YL
;
Zhang, GB
;
Wu, GY
;
Li, ZH
;
Chen, WR
;
Liu, SM
;
Li, T
;
Wang, TS
;
Wang, YY
收藏
  |  
浏览/下载:2/0
  |  
提交时间:2015/11/10
micromechanical structures
surface micromachining
Si3N4
embedded mask
NITRIDE
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