×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
上海微系统与信息技术... [1]
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1998 [2]
学科主题
Physics, M... [1]
半导体化学 [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
帮助
限定条件
发表日期:1998
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
C-axis oriented AlN thin films on silicon prepared by ultrahigh vacuum evaporation of Al combined with post-nitridation
期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 1998, 卷号: 15, 期号: 10, 页码: 732-733
Huang, JP
;
Wang, LW
;
Shen, QW
;
Gao, JX
;
Ni, RS
;
Lin, CL
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/25
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
ALUMINUM
Solid-phase crystallization and dopant activation of amorphous silicon films by pulsed rapid thermal annealing
期刊论文
applied surface science, 1998, 卷号: 135, 期号: 1-4, 页码: 205-208
Wang YQ
;
Liao XB
;
Ma ZX
;
Yue GZ
;
Diao HW
;
He J
;
Kong GL
;
Zhao YW
;
Li ZM
;
Yun F
收藏
  |  
浏览/下载:28/0
  |  
提交时间:2010/08/12
amorphous silicon
solid-phase crystallization
rapid thermal annealing
LPCVD POLYCRYSTALLINE SILICON
LOW-TEMPERATURE
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace