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不同衬底上TiN薄膜的制备及性能研究 期刊论文
功能材料/Gongneng Cailiao/Journal of Functional Materials, 1996, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 2
作者:  杨今漫;  徐灿;  谢二庆;  陈光华
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