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一种2UPU/SPR并联机构综合与性能分析 学位论文
: 西安理工大学, 2019
作者:  侯仲军
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2019/12/20
小工作空间压电式六维力传感器研究 学位论文
: 大连理工大学, 2017
作者:  齐亚州
收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/03
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  宁锦华
收藏  |  浏览/下载:25/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
六自由度绳索悬挂式并联机器人工作空间和鲁棒性研究 期刊论文
机械科学与技术, 2006, 卷号: 25, 期号: 3, 页码: 268-272
庄鹏; 姚正秋
收藏  |  浏览/下载:21/0  |  提交时间:2013/12/25
低能强流质子圆形加速器共振现象的模型研究 期刊论文
高能物理与核物理, 2005, 期号: 2, 页码: 186-190
作者:  欧阳华甫;  方守贤
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2015/12/07
Stewart平台的力工作空间初步分析 期刊论文
机械科学与技术, 2001, 期号: 3, 页码: 401-402
作者:  周冰;  方浩;  冯祖仁
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2020/01/07
遗传算法在操作力问题中的应用 期刊论文
机器人, 2001, 期号: 1, 页码: 20-25
作者:  周冰;  方浩;  冯祖仁
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2020/01/07
并行结构机器人机构学研究 学位论文
1999
作者:  肖咸宽
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2020/01/07


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