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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
2010 [1]
2008 [3]
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星载自适应调零天线在LEO卫星中的应用研究
期刊论文
通信技术, 2010, 期号: 06
赵星惟
;
吕源
;
刘会杰
;
梁旭文
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
侧壁压阻
力传感器
GaAs/InGaP异质界面的湿法腐蚀
期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 03
林玲
;
王伟
;
徐安怀
;
孙晓玮
;
齐鸣
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
侧壁压阻
定位平台
反应离子刻蚀
位移传感器
微流控芯片电泳测定血清小而密低密度脂蛋白及临床应用价值
期刊论文
临床检验杂志, 2008, 期号: 04
王惠民
;
汪骅
;
金庆辉
;
丛辉
;
周锦红
;
黄一红
;
张芹
;
赵建龙
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2012/01/06
体硅微加工工艺
微型定位平台
面内侧壁压阻
有限元方法
压阻灵敏度
不同材质微芯片内细胞生长状态分析
期刊论文
生物物理学报, 2008, 期号: 04
邵建波
;
吴蕾
;
赵辉
;
郑允焕
;
吴建璋
;
金庆辉
;
赵建龙
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
集成式微型xy定位平台
静电梳齿致动器
面内垂直侧壁表面压阻
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