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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A beam homogenizer for digital micromirror device lithography system based on random freeform microlenses 期刊论文 Optics Communications, 2019, 卷号: 443, 页码: 211-215 作者:  Z.Y.Liu;  H.Liu;  Z.F.Lu;  Q.K.Li;  J.H.Li 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/08/24 Homogenizer,Microlens array,Freeform surface,DMD lithography system,laser,optics   Analysis and correction of the distortion error in a DMD based scanning lithography system 期刊论文 Optics Communications, 2019, 卷号: 434, 页码: 1-6 作者:  Q.K.Li;  Y.Xiao;  H.Liu;  H.L.Zhang;  J.Xu 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2020/08/24 Microlithography,Lithography,Digital image processing,maskless lithography,fabrication,Optics