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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Development of a Compact Three-Degree-of-Freedom Laser Measurement System with Self-Wavelength Correction for Displacement Feedback of a Nanopositioning Stage 期刊论文 APPLIED SCIENCES-BASEL, 2018, 卷号: 8 作者:  Cai, Yindi;  Lou, Zhifeng;  Ling, Siying;  Liao, Bo-syun;  Fan, Kuang-chao 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 laser diode  interferometer  wavelength corrector  angular error  nanopositioning stage