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Evaluation of openings in a dielectric layer 专利
专利号: US20060094136A1, 申请日期: 2006-05-04, 公开日期: 2006-05-04
作者:  BORDEN, PETER G.;  LI, JIPING;  GENIO, EDGAR
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Measuring a property of a layer in multilayered structure 专利
专利号: US6906801, 申请日期: 2005-06-14, 公开日期: 2005-06-14
作者:  BORDEN, PETER G.;  LI, JIPING
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Use of a coefficient of a power curve to evaluate a semiconductor wafer 专利
专利号: US6812717, 申请日期: 2004-11-02, 公开日期: 2004-11-02
作者:  BORDEN, PETER G.;  NIJMEIJER, REGINA G.;  KLEMME, BEVERLY J.
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Apparatus and method for measuring a property of a layer in a multilayered structure 专利
专利号: US20030164946A1, 申请日期: 2003-09-04, 公开日期: 2003-09-04
作者:  BORDEN, PETER G.;  LI, JI PING
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Apparatus and method for determining the active dopant profile in a semiconductor wafer 专利
专利号: EP1192444A1, 申请日期: 2002-04-03, 公开日期: 2002-04-03
作者:  BORDEN, PETER, G.;  NIJMEIJER, REGINA, G.
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